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簡要描述:日本MEG對齊單元X9106-MO23DB用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密組裝線等需要亞微米級定位的場景。高精度對齊單元,專注于高精度工業(yè)自動(dòng)化組件,如對齊單元、傳感器和定位系統(tǒng).
深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9106-MO23DB 產(chǎn)品特點(diǎn)如下:
日本MEG對齊單元X9106-MO23DB用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密組裝線等需要亞微米級定位的場景,高精度對齊單元,專注于高精度工業(yè)自動(dòng)化組件,如對齊單元、傳感器和定位系統(tǒng).
可靈活應(yīng)對多品種工件的長沖程和高速定位所需的長壽命對準(zhǔn)單元,在半導(dǎo)體及電子零件行業(yè)中被用于工件定位,取得了很多實(shí)績。穩(wěn)定的定位性能以緊湊但長行程重復(fù)精度高的凸輪為基礎(chǔ),鉚釘采用無背襯機(jī)構(gòu),緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能,可穩(wěn)定定位050的身體內(nèi)收納4個(gè)無限軌道型線性導(dǎo)軌,并且到極限省略浪費(fèi)6mm的長沖程成為可能。
適用于從微芯片到帶端子芯片的廣泛用途,無沖擊工作通過使用長壽命凸輪曲線變形等速度曲線的凸輪和步進(jìn)電機(jī)的加減速控制,即使在高速情況下也能實(shí)現(xiàn)柔和的定位,無限軌道線性導(dǎo)軌的靈活操作和凸輪的簡單機(jī)制確保了長期的初始位置精度,α STEP馬達(dá)的追加外部驅(qū)動(dòng)采用實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP DC電源類型。
因?yàn)槭怯貌竭M(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng),所以指甲的進(jìn)給量可以根據(jù)工件進(jìn)行設(shè)定,手指導(dǎo)軌采用預(yù)壓的線性導(dǎo)軌,實(shí)現(xiàn)了高的重復(fù)精度,可以利用馬達(dá)后部的旋轉(zhuǎn)軸安裝原點(diǎn)傳感器和限位傳感器,也可以方便地作為機(jī)械調(diào)整時(shí)的手動(dòng)手柄使用,帶馬達(dá)的型號有2相馬達(dá)和α STEP馬達(dá)兩種可選,相馬達(dá)已更新,可以設(shè)置高分辨率。
核心功能
1.精密定位:
通過內(nèi)置高分辨率傳感器(如激光或光學(xué)編碼器)實(shí)現(xiàn)微米級(μm)或納米級(nm)的位置對齊。
適用于晶圓、面板、精密零件的對準(zhǔn)與校正。
2.多軸控制:
支持X/Y/Z軸或θ(旋轉(zhuǎn)軸)的多自由度調(diào)整,集成運(yùn)動(dòng)控制算法。
3.自動(dòng)化集成:
兼容PLC、工業(yè)機(jī)器人或上位機(jī)系統(tǒng),支持標(biāo)準(zhǔn)通信協(xié)議(如EtherCAT、RS-485等)。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體封裝:晶圓與掩模版的對齊。
FPD制造:液晶面板的精準(zhǔn)貼合。
精密檢測:配合顯微鏡或CCD進(jìn)行自動(dòng)對焦定位。
優(yōu)勢
高剛性設(shè)計(jì):減少振動(dòng)帶來的誤差。
快速響應(yīng):優(yōu)化算法提升對齊速度。
模塊化:可擴(kuò)展為多單元協(xié)同工作。
技術(shù)參數(shù)
精度:±0.1 μm 或更高
重復(fù)定位精度:±0.05 μm
負(fù)載能力:1-5 kg(依賴機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì))
傳感器類型:光學(xué)編碼器/激光干涉儀
環(huán)境適應(yīng)性:防塵、防振動(dòng)設(shè)計(jì),適合潔凈室使用。
規(guī)格
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